ക്വാർട്സ് വേഫർ സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ്

ക്വാർട്സ് വേഫർ സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ്

ക്വാർട്‌സ് വേഫർ സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകൾ പ്രാഥമികമായി ഉയർന്ന{0}}ശുദ്ധിയുള്ള ക്വാർട്‌സ് (SiO₂) കൊണ്ട് നിർമ്മിച്ച വേഫറുകളാണ്, അർദ്ധചാലകങ്ങൾ, ഒപ്‌റ്റോഇലക്‌ട്രോണിക്‌സ്, മൈക്രോ-ഇലക്‌ട്രോ മെക്കാനിക്കൽ സിസ്റ്റങ്ങൾ (MEMS), ഒപ്റ്റിക്കൽ ഉപകരണങ്ങൾ, മറ്റ് ഫീൽഡുകൾ എന്നിവയിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.

വിവരണം

മെറ്റീരിയൽ പ്രോപ്പർട്ടികൾ

 

  • ഉയർന്ന ശുദ്ധി:സാധാരണയായി സിന്തറ്റിക് ക്വാർട്സ് (ഉദാ, ഫ്യൂസ്ഡ് സിലിക്ക), വളരെ ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി (99.99%-നേക്കാൾ വലുതോ അതിന് തുല്യമോ) ഉപകരണത്തിൻ്റെ പ്രകടനത്തെ ബാധിക്കാതിരിക്കാൻ ഏറ്റവും കുറഞ്ഞ മാലിന്യങ്ങളും കൊണ്ട് നിർമ്മിച്ചതാണ്.
  • താപ സ്ഥിരത:താപ വികാസത്തിൻ്റെ കുറഞ്ഞ ഗുണകവും (≈0.55×10⁻⁶/ ഡിഗ്രി ) ഉയർന്ന-താപ പ്രതിരോധവും (സോഫ്റ്റനിംഗ് പോയിൻ്റ് ~1600 ഡിഗ്രി ), ഉയർന്ന-താപനില പ്രക്രിയകൾക്ക് അനുയോജ്യമാണ്.
  • ഒപ്റ്റിക്കൽ പ്രകടനം:ബ്രോഡ് ട്രാൻസ്മിഷൻ ശ്രേണി (UV മുതൽ IR വരെ), അസാധാരണമായ UV ട്രാൻസ്മിറ്റൻസ്, ഫോട്ടോമാസ്കുകൾ, ലെൻസുകൾ മുതലായവയ്ക്ക് അനുയോജ്യമാണ്.
  • രാസ നിഷ്ക്രിയത്വം:ആസിഡുകൾക്കും ക്ഷാരങ്ങൾക്കും (ഹൈഡ്രോഫ്ലൂറിക് ആസിഡ് ഒഴികെ) പ്രതിരോധം, ആർദ്ര കൊത്തുപണി പ്രക്രിയകൾക്ക് അനുയോജ്യമാണ്.
  • ഇലക്ട്രിക്കൽ ഇൻസുലേഷൻ:High resistivity (>10¹⁶ Ω·cm), ഇൻസുലേറ്റിംഗ് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകൾക്കോ ​​ഉയർന്ന{1}}ആവൃത്തിയുള്ള ഉപകരണങ്ങൾക്കോ ​​അനുയോജ്യമാണ്.

 

അപേക്ഷകൾ

അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണം

- ഫോട്ടോമാസ്ക് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകൾ

- EUV ലിത്തോഗ്രാഫി ഘടകങ്ങൾ

- വേഫർ പ്രോസസ്സിംഗ് കാരിയറുകൾ

ഫോട്ടോണിക്‌സും ഒപ്‌റ്റോഇലക്‌ട്രോണിക്‌സും

- ഒപ്റ്റിക്കൽ വേവ്ഗൈഡ് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകൾ

- ലേസർ ഡയോഡ് മൗണ്ടിംഗ്

- ക്വാണ്ടം കമ്പ്യൂട്ടിംഗ് ഘടകങ്ങൾ

സ്പെഷ്യാലിറ്റി ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ

- MEMS റെസൊണേറ്റർ ബേസുകൾ

- ബഹിരാകാശ ദൂരദർശിനി ഒപ്‌റ്റിക്‌സ്

- ഉയർന്ന-ഊർജ്ജ ലേസർ സംവിധാനങ്ങൾ

 

നിർമ്മാണ പ്രക്രിയ

 

  • അസംസ്കൃത വസ്തുക്കളുടെ സമന്വയം:നീരാവി നിക്ഷേപം (ഉദാ, SiCl₄ ഓക്സിഡേഷൻ) അല്ലെങ്കിൽ സ്വാഭാവിക ക്വാർട്സ് ശുദ്ധീകരണം വഴി ഉത്പാദിപ്പിക്കപ്പെടുന്നു.
  • ഉരുകലും രൂപീകരണവും:ഉയർന്ന-താപനില ഉരുകൽ, തുടർന്ന് ഇൻഗോട്ടുകളിലേക്ക് തണുപ്പിക്കൽ അല്ലെങ്കിൽ വടികളിലേക്ക് നേരിട്ട് വരയ്ക്കൽ.
  • മുറിക്കൽ:ഡയമണ്ട് വയർ സോകളോ ലേസർ കട്ടിംഗോ ഉപയോഗിച്ച് നേർത്ത വേഫറുകളായി മുറിക്കുക.
  • പൊടിക്കലും മിനുക്കലും:കെമിക്കൽ മെക്കാനിക്കൽ പോളിഷിംഗ് (CMP) നാനോമീറ്റർ-ലെവൽ സ്മൂത്ത്‌നെസ് നേടുന്നു.
  • ശുചീകരണവും പരിശോധനയും:കണികകളും ലോഹ മലിനീകരണവും നീക്കംചെയ്യൽ, തുടർന്ന് വൈകല്യവും പാരാമീറ്റർ പരിശോധനയും.

 

പ്രോപ്പർട്ടികൾ

 

ഫിസിക്കൽ പ്രോപ്പർട്ടികൾ

മൂല്യങ്ങൾ

ശുദ്ധി

>99.99%

സാന്ദ്രത

2.2ഗ്രാം/സെ.മീ3

സുതാര്യത

>90%

മോഹ്സ് കാഠിന്യം

5.5--6.5

ഡിഫോർമേഷൻ പോയിൻ്റ്

1280 ഡിഗ്രി

മയപ്പെടുത്തൽ പോയിൻ്റ്

1750 ഡിഗ്രി

അനീലിംഗ് പോയിൻ്റ്

1250 ഡിഗ്രി

പ്രത്യേക ചൂട് (20 - 350 ഡിഗ്രി )

670J/kg ബിരുദം

താപ ചാലകത (20 ഡിഗ്രി)

1.4W/m. ബിരുദം

താപ ചാലകത (w/mk,1000 ഡിഗ്രി)

1.0-1.2

റിഫ്രാക്റ്റീവ് ഇൻഡക്സ്

1.4585

താപ വികാസത്തിൻ്റെ ഗുണകം

5.510 -7സെ.മീ/സെ.മീ. ബിരുദം

ചൂടുള്ള - പ്രവർത്തന താപനില

1750--2050 ഡിഗ്രി

ഹ്രസ്വ - ടേം സേവന താപനില

1450 ഡിഗ്രി

ദീർഘകാല - സേവന താപനില

1100 ഡിഗ്രി

 

കെമിക്കൽ പ്രോപ്പർട്ടികൾ

മൂല്യങ്ങൾ

ആസിഡ് റെസിസ്റ്റൻ്റ്

ശക്തമായ ആസിഡ് (HF ഒഴികെ), ശക്തമായ ക്ഷാരം, ജൈവ പരിഹാരം

ഉയർന്ന താപനില നാശത്തെ പ്രതിരോധിക്കും

മികച്ചത്

മെറ്റൽ അശുദ്ധി ഉള്ളടക്കം

5 പിപിഎം

 

ഇലക്ട്രിക്കൽ പ്രോപ്പർട്ടികൾ

മൂല്യങ്ങൾ

പ്രതിരോധശേഷി

7107Ω.സെ.മീ

ഇൻസുലേഷൻ ശക്തി

250~400Kv/cm

വൈദ്യുത സ്ഥിരത

3.7~3.9

വൈദ്യുത ആഗിരണം ഗുണകം

<410-4

വൈദ്യുത നഷ്ട ഗുണകം

<110-4

 

മെക്കാനിക്കൽ പ്രോപ്പർട്ടികൾ

മൂല്യങ്ങൾ

കംപ്രസ്സീവ് ശക്തി

1100MPa

വളയുന്ന ശക്തി

67എംപിഎ

വലിച്ചുനീട്ടാനാവുന്ന ശേഷി

48MPa

വിഷത്തിൻ്റെ അനുപാതം

0.14~0.17

യങ്ങിൻ്റെ മോഡുലസ്

72000MPa

ഷിയർ മോഡുലസ്

31000എംപിഎ

 

പതിവുചോദ്യങ്ങൾ

Q1: ലഭ്യമായ ക്വാർട്സ് വേഫർ സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകളുടെ പരമാവധി വലുപ്പം എന്താണ്?

A: 300mm വ്യാസം വരെയുള്ള സ്റ്റാൻഡേർഡ് പ്രൊഡക്ഷൻ, R&D-ക്ക് 450mm പ്രോട്ടോടൈപ്പുകൾ ലഭ്യമാണ്.

Q2: നിങ്ങൾക്ക് ഇഷ്ടാനുസൃത കനം പ്രൊഫൈലുകൾ നൽകാൻ കഴിയുമോ?

A: അതെ - നമുക്ക് നിർമ്മിക്കാം:
- വെഡ്ജ്ഡ് വേഫറുകൾ (ലേസർ ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക്)
- പ്രിസിഷൻ ടേപ്പർഡ് ഡിസൈനുകൾ
- മെസ-ഘടനാപരമായ പ്രതലങ്ങൾ

Q3: ഏത് ക്ലീനിംഗ് പ്രോട്ടോക്കോൾ നിങ്ങൾ ശുപാർശ ചെയ്യുന്നു?

A: സ്റ്റാൻഡേർഡ് RCA ക്ലീൻ പ്രോസസ്സ്:
1. ഓർഗാനിക് നീക്കം (H₂SO₄:H₂O₂)
2. അയോണിക് ക്ലീനിംഗ് (HCl:H₂O₂)
3. ഹൈഡ്രോഫിലിക് പ്രതലത്തിന് HF{1}}അവസാനം

ഹോട്ട് ടാഗുകൾ: ക്വാർട്സ് വേഫർ സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ്, ചൈന ക്വാർട്‌സ് വേഫർ സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് നിർമ്മാതാക്കൾ, വിതരണക്കാർ, ഫാക്ടറി

നിങ്ങൾക്ക് ഇതുകൂടി ഇഷ്ടപ്പെട്ടേക്കാം

ഷോപ്പിംഗ് ബാഗുകൾ