
ക്വാർട്സ് വേഫർ സബ്സ്ട്രേറ്റ്
ക്വാർട്സ് വേഫർ സബ്സ്ട്രേറ്റുകൾ പ്രാഥമികമായി ഉയർന്ന{0}}ശുദ്ധിയുള്ള ക്വാർട്സ് (SiO₂) കൊണ്ട് നിർമ്മിച്ച വേഫറുകളാണ്, അർദ്ധചാലകങ്ങൾ, ഒപ്റ്റോഇലക്ട്രോണിക്സ്, മൈക്രോ-ഇലക്ട്രോ മെക്കാനിക്കൽ സിസ്റ്റങ്ങൾ (MEMS), ഒപ്റ്റിക്കൽ ഉപകരണങ്ങൾ, മറ്റ് ഫീൽഡുകൾ എന്നിവയിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.
വിവരണം
മെറ്റീരിയൽ പ്രോപ്പർട്ടികൾ
- ഉയർന്ന ശുദ്ധി:സാധാരണയായി സിന്തറ്റിക് ക്വാർട്സ് (ഉദാ, ഫ്യൂസ്ഡ് സിലിക്ക), വളരെ ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി (99.99%-നേക്കാൾ വലുതോ അതിന് തുല്യമോ) ഉപകരണത്തിൻ്റെ പ്രകടനത്തെ ബാധിക്കാതിരിക്കാൻ ഏറ്റവും കുറഞ്ഞ മാലിന്യങ്ങളും കൊണ്ട് നിർമ്മിച്ചതാണ്.
- താപ സ്ഥിരത:താപ വികാസത്തിൻ്റെ കുറഞ്ഞ ഗുണകവും (≈0.55×10⁻⁶/ ഡിഗ്രി ) ഉയർന്ന-താപ പ്രതിരോധവും (സോഫ്റ്റനിംഗ് പോയിൻ്റ് ~1600 ഡിഗ്രി ), ഉയർന്ന-താപനില പ്രക്രിയകൾക്ക് അനുയോജ്യമാണ്.
- ഒപ്റ്റിക്കൽ പ്രകടനം:ബ്രോഡ് ട്രാൻസ്മിഷൻ ശ്രേണി (UV മുതൽ IR വരെ), അസാധാരണമായ UV ട്രാൻസ്മിറ്റൻസ്, ഫോട്ടോമാസ്കുകൾ, ലെൻസുകൾ മുതലായവയ്ക്ക് അനുയോജ്യമാണ്.
- രാസ നിഷ്ക്രിയത്വം:ആസിഡുകൾക്കും ക്ഷാരങ്ങൾക്കും (ഹൈഡ്രോഫ്ലൂറിക് ആസിഡ് ഒഴികെ) പ്രതിരോധം, ആർദ്ര കൊത്തുപണി പ്രക്രിയകൾക്ക് അനുയോജ്യമാണ്.
- ഇലക്ട്രിക്കൽ ഇൻസുലേഷൻ:High resistivity (>10¹⁶ Ω·cm), ഇൻസുലേറ്റിംഗ് സബ്സ്ട്രേറ്റുകൾക്കോ ഉയർന്ന{1}}ആവൃത്തിയുള്ള ഉപകരണങ്ങൾക്കോ അനുയോജ്യമാണ്.
അപേക്ഷകൾ
അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണം
- ഫോട്ടോമാസ്ക് സബ്സ്ട്രേറ്റുകൾ
- EUV ലിത്തോഗ്രാഫി ഘടകങ്ങൾ
- വേഫർ പ്രോസസ്സിംഗ് കാരിയറുകൾ
ഫോട്ടോണിക്സും ഒപ്റ്റോഇലക്ട്രോണിക്സും
- ഒപ്റ്റിക്കൽ വേവ്ഗൈഡ് സബ്സ്ട്രേറ്റുകൾ
- ലേസർ ഡയോഡ് മൗണ്ടിംഗ്
- ക്വാണ്ടം കമ്പ്യൂട്ടിംഗ് ഘടകങ്ങൾ
സ്പെഷ്യാലിറ്റി ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ
- MEMS റെസൊണേറ്റർ ബേസുകൾ
- ബഹിരാകാശ ദൂരദർശിനി ഒപ്റ്റിക്സ്
- ഉയർന്ന-ഊർജ്ജ ലേസർ സംവിധാനങ്ങൾ
നിർമ്മാണ പ്രക്രിയ
- അസംസ്കൃത വസ്തുക്കളുടെ സമന്വയം:നീരാവി നിക്ഷേപം (ഉദാ, SiCl₄ ഓക്സിഡേഷൻ) അല്ലെങ്കിൽ സ്വാഭാവിക ക്വാർട്സ് ശുദ്ധീകരണം വഴി ഉത്പാദിപ്പിക്കപ്പെടുന്നു.
- ഉരുകലും രൂപീകരണവും:ഉയർന്ന-താപനില ഉരുകൽ, തുടർന്ന് ഇൻഗോട്ടുകളിലേക്ക് തണുപ്പിക്കൽ അല്ലെങ്കിൽ വടികളിലേക്ക് നേരിട്ട് വരയ്ക്കൽ.
- മുറിക്കൽ:ഡയമണ്ട് വയർ സോകളോ ലേസർ കട്ടിംഗോ ഉപയോഗിച്ച് നേർത്ത വേഫറുകളായി മുറിക്കുക.
- പൊടിക്കലും മിനുക്കലും:കെമിക്കൽ മെക്കാനിക്കൽ പോളിഷിംഗ് (CMP) നാനോമീറ്റർ-ലെവൽ സ്മൂത്ത്നെസ് നേടുന്നു.
- ശുചീകരണവും പരിശോധനയും:കണികകളും ലോഹ മലിനീകരണവും നീക്കംചെയ്യൽ, തുടർന്ന് വൈകല്യവും പാരാമീറ്റർ പരിശോധനയും.
പ്രോപ്പർട്ടികൾ
|
ഫിസിക്കൽ പ്രോപ്പർട്ടികൾ |
മൂല്യങ്ങൾ |
|
ശുദ്ധി |
>99.99% |
|
സാന്ദ്രത |
2.2ഗ്രാം/സെ.മീ3 |
|
സുതാര്യത |
>90% |
|
മോഹ്സ് കാഠിന്യം |
5.5--6.5 |
|
ഡിഫോർമേഷൻ പോയിൻ്റ് |
1280 ഡിഗ്രി |
|
മയപ്പെടുത്തൽ പോയിൻ്റ് |
1750 ഡിഗ്രി |
|
അനീലിംഗ് പോയിൻ്റ് |
1250 ഡിഗ്രി |
|
പ്രത്യേക ചൂട് (20 - 350 ഡിഗ്രി ) |
670J/kg ബിരുദം |
|
താപ ചാലകത (20 ഡിഗ്രി) |
1.4W/m. ബിരുദം |
|
താപ ചാലകത (w/mk,1000 ഡിഗ്രി) |
1.0-1.2 |
|
റിഫ്രാക്റ്റീവ് ഇൻഡക്സ് |
1.4585 |
|
താപ വികാസത്തിൻ്റെ ഗുണകം |
5.510 -7സെ.മീ/സെ.മീ. ബിരുദം |
|
ചൂടുള്ള - പ്രവർത്തന താപനില |
1750--2050 ഡിഗ്രി |
|
ഹ്രസ്വ - ടേം സേവന താപനില |
1450 ഡിഗ്രി |
|
ദീർഘകാല - സേവന താപനില |
1100 ഡിഗ്രി |
|
കെമിക്കൽ പ്രോപ്പർട്ടികൾ |
മൂല്യങ്ങൾ |
|
ആസിഡ് റെസിസ്റ്റൻ്റ് |
ശക്തമായ ആസിഡ് (HF ഒഴികെ), ശക്തമായ ക്ഷാരം, ജൈവ പരിഹാരം |
|
ഉയർന്ന താപനില നാശത്തെ പ്രതിരോധിക്കും |
മികച്ചത് |
|
മെറ്റൽ അശുദ്ധി ഉള്ളടക്കം |
5 പിപിഎം |
|
ഇലക്ട്രിക്കൽ പ്രോപ്പർട്ടികൾ |
മൂല്യങ്ങൾ |
|
പ്രതിരോധശേഷി |
7107Ω.സെ.മീ |
|
ഇൻസുലേഷൻ ശക്തി |
250~400Kv/cm |
|
വൈദ്യുത സ്ഥിരത |
3.7~3.9 |
|
വൈദ്യുത ആഗിരണം ഗുണകം |
<410-4 |
|
വൈദ്യുത നഷ്ട ഗുണകം |
<110-4 |
|
മെക്കാനിക്കൽ പ്രോപ്പർട്ടികൾ |
മൂല്യങ്ങൾ |
|
കംപ്രസ്സീവ് ശക്തി |
1100MPa |
|
വളയുന്ന ശക്തി |
67എംപിഎ |
|
വലിച്ചുനീട്ടാനാവുന്ന ശേഷി |
48MPa |
|
വിഷത്തിൻ്റെ അനുപാതം |
0.14~0.17 |
|
യങ്ങിൻ്റെ മോഡുലസ് |
72000MPa |
|
ഷിയർ മോഡുലസ് |
31000എംപിഎ |
പതിവുചോദ്യങ്ങൾ
Q1: ലഭ്യമായ ക്വാർട്സ് വേഫർ സബ്സ്ട്രേറ്റുകളുടെ പരമാവധി വലുപ്പം എന്താണ്?
A: 300mm വ്യാസം വരെയുള്ള സ്റ്റാൻഡേർഡ് പ്രൊഡക്ഷൻ, R&D-ക്ക് 450mm പ്രോട്ടോടൈപ്പുകൾ ലഭ്യമാണ്.
Q2: നിങ്ങൾക്ക് ഇഷ്ടാനുസൃത കനം പ്രൊഫൈലുകൾ നൽകാൻ കഴിയുമോ?
A: അതെ - നമുക്ക് നിർമ്മിക്കാം:
- വെഡ്ജ്ഡ് വേഫറുകൾ (ലേസർ ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക്)
- പ്രിസിഷൻ ടേപ്പർഡ് ഡിസൈനുകൾ
- മെസ-ഘടനാപരമായ പ്രതലങ്ങൾ
Q3: ഏത് ക്ലീനിംഗ് പ്രോട്ടോക്കോൾ നിങ്ങൾ ശുപാർശ ചെയ്യുന്നു?
A: സ്റ്റാൻഡേർഡ് RCA ക്ലീൻ പ്രോസസ്സ്:
1. ഓർഗാനിക് നീക്കം (H₂SO₄:H₂O₂)
2. അയോണിക് ക്ലീനിംഗ് (HCl:H₂O₂)
3. ഹൈഡ്രോഫിലിക് പ്രതലത്തിന് HF{1}}അവസാനം
ഹോട്ട് ടാഗുകൾ: ക്വാർട്സ് വേഫർ സബ്സ്ട്രേറ്റ്, ചൈന ക്വാർട്സ് വേഫർ സബ്സ്ട്രേറ്റ് നിർമ്മാതാക്കൾ, വിതരണക്കാർ, ഫാക്ടറി
അന്വേഷണം അയയ്ക്കുക
നിങ്ങൾക്ക് ഇതുകൂടി ഇഷ്ടപ്പെട്ടേക്കാം







